該系列產(chǎn)品采用陶瓷電容傳感器和硅壓阻式 傳感器,采用電子控制器與傳感器一體化模塊設(shè)計(jì),具有高可靠性,高穩(wěn)定性,主廣泛應(yīng)用于各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域的粗、低真空檢測(cè)。
VT23系列 真空計(jì)
產(chǎn)品概述:
VT23系列真空計(jì)產(chǎn)品采用陶瓷電容傳感器和硅壓阻式傳感器,采用電子控制器與傳感器一體化模塊設(shè)計(jì),具有高可靠性,高穩(wěn)定性,主廣泛應(yīng)用于各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域的粗、低真空檢測(cè)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
高精度、高穩(wěn)定性、不受氣體種類影響、響應(yīng)快速無(wú)遲滯、寬的工作溫度范圍
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體制造設(shè)備、航空航天。冷凍干燥制作設(shè)備、工業(yè)真空設(shè)備
性能參數(shù):
量 程 | 0-5torr-1000torr(可選) | 溫度補(bǔ)償 | -20-85°C |
精 度 | 0.1%FS、0.25%FS、0.5%FS、1%FS | 工作溫度 | -40-125°C |
輸 出 | 4-20mA、0-5V、0-10V、RS85 | 安全過(guò)載 | 200%/1000% |
供 電 | 12-30VDC、9-36VDC | 極限過(guò)載 | 400%/2000% |
過(guò)程連接 | KF10、KF16、KF25、1/4VCR | 溫度漂移 | 0.02%FS/°C |
電氣連接 | 大赫斯曼、防水出線、M12*1 | 長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | 0.2%FS/年 |
接液材質(zhì) | 陶瓷、304、316L | 外殼材質(zhì) | 304 |
產(chǎn)品系列圖片:


產(chǎn)品系列尺寸圖:
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