VT23系列真空計產品采用陶瓷電容傳感器和硅壓阻式傳感器,采用電子控制器與傳感器一體化模塊設計,具有高可靠性,高穩定性,主廣泛應用于各個工業領域的粗、低真空檢測。
VT23系列 真空計
產品概述:
該系列產品采用陶瓷電容傳感器和硅壓阻式 傳感器,采用電子控制器與傳感器一體化模塊設計,具有高可靠性,高穩定性,主廣泛應用于各個工業領域的粗、低真空檢測。
產品特點:
高精度、高穩定性、不受氣體種類影響、響應快速無遲滯、寬的工作溫度范圍
應用領域:
半導體制造設備、航空航天。冷凍干燥制作設備、工業真空設備
性能參數:
量 程 | 0-5torr-1000torr(可選) | 溫度補償 | -20-85°C |
精 度 | 0.1%FS、0.25%FS、0.5%FS、1%FS | 工作溫度 | -40-125°C |
輸 出 | 4-20mA、0-5V、0-10V、RS85 | 安全過載 | 200%/1000% |
供 電 | 12-30VDC、9-36VDC | 極限過載 | 400%/2000% |
過程連接 | KF10、KF16、KF25、1/4VCR | 溫度漂移 | 0.02%FS/°C |
電氣連接 | 大赫斯曼、防水出線、M12*1 | 長期穩定性 | 0.2%FS/年 |
接液材質 | 陶瓷、304、316L | 外殼材質 | 304 |
產品系列圖片:


產品系列尺寸圖:

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